多功能高頻半導體量測分析系統

 

本量測系統適用於半導體電子材料、奈米元件之電性量測 (I-VC-V),並且附加溫控系統做溫度調變,可用來分析電子元件之可靠度和電性機制。及提供最多4端點元件之量測。並可由Agilent 4156C半導體參數分析儀及Agilent 4294A LCR Analyzer量測在不同溫度下作元件特性的量測和可靠度研究。整個系統利用Agilent Desktop EasyExpert量測軟體進行自動控制,提供方便且迅速的量測功能。

 

儀器設備說明

 

量測平台型號

Cascade Microtech M150

 

規格: 4具低漏電探針座(Cascade DCM210)

       6可變溫氣浮式平台

功能及用途:放置並固定待測元件供探針座下針

 

量測儀器型號

Agilent 4156C/41501B半導體參數分析儀

規格:HRSMU(High Resolution SMU) × 4

      Resolution1fA/2μV to 100mA/100V

HPSMU(High Power SMU) × 1

      Resolution10fA/2μV to 1A/200V

      PGU(Pulse Generator Unit) × 2

      Amplitude40Vp-p

      Pulse Width1μs to 9.99s (100ns res.)

      Pulse Period2μs to 10s (100ns res.)

      Transition Time100ns to 10ms (1ns res.)

Source Monitor Unit(SMU)

功能及用途:提供高解析度I-V量測及可靠度測試,如:

            MOSFETsTFTsID-VD & ID-VG特性

            DiodeBJTMOSI-V特性

            Hot Carrier StressAC Stress

 

Agilent 81110A脈衝/碼型產生器

規格:Frequency range1mHz to 165MHz

      Period range6.06ns to 999.5s

      Width range6.25ns to 999.5s

      Amplitude range100mV to 20.0V

功能及用途:提供高頻的可靠度量測

 

Agilent 4294A精密阻抗分析儀

規格:Frequency range40Hz to 110MHz

      Resolution1mHz

      DC Bias FunctionDC voltage bias range0 to ±40V

                        Resolution1mV

                        DC current bias range0 to ±100mA

                        Resolution40μA

      Current Signal Level range200μArms to 20mArms

                      Resolution20μA

      Voltage Signal Level range5mVrms to 1Vrms

                      Resolution1mV

功能及用途:快速取高解析度與高頻下的C-V特性,並提供電容與頻率的關係。另外也能提供電感與頻率的關係。

 

Agilent B2201A低漏電切換器

規格:Input Ports8 Triaxial Ports

                   6 BNC Ports (2 of CV port)

      Output Ports12 Triaxial Ports

                    Max 48 Ports

      Leakage Current50fA

功能及用途:提供I-VC-V測間的快速切換,去除更換線材的動作

 

Agilent DSO8104A示波器

規格:Bandwidth1GHz

功能及用途:提供確認脈衝產生器輸出的波形

 

Temptronic TP0315A變溫平台

規格:變溫範圍30 ~ 200

功能及用途:提供變溫量測,分析元件於不同溫度下之電性特性

 

服務項目(1)準電性量測:電流-電壓特性(Current-Voltage)

                         電容-電壓特性(Capacitance-Voltage)

                         電容-頻率特性(Capacitance-Frequency)

                         電感-頻率特性(Inductance-Frequency)

        (2)可靠度分析:DC stress

                       AC stress

        (3)變溫量測:30 ~ 200

收費標準

儀器使用每小時收費1,500元整。

試片準備

待測元件大小須在8吋以內

聯絡方式

指導教授:張鼎張 教授 中山大學物理系

TEL(07)52520003708

儀器負責人:郭原瑞 同學

TEL(07)52520003708

儀器地點:物理館七樓D7009