多功能半導體量測分析系統

 

 

 

 

 

428 current Amplifier

 

 
                           

708A switching system

428 current Amplifier

 

 
 


4200 -SCS

428 current Amplifier

 

 
 

 

Thermal controller

428 current Amplifier

 

 
 


                     

 

探針平台與Keithley4200-SCS428 current Amplifer thermal control等裝置搭配,進行半導體元件、薄膜試面電性量測,同時支援升溫量測。最多可同時進行5支探針量測。探針平台置於黑箱中可隔絕環境光源之干擾效應。提供液晶顯示器方便sample照相、下針

■儀器設備及功能說明:

Keithley4200-SCS Semiconductor Characterization System

■一般I-V 量測:

支援device model: BJTCapacitorDiodeMOSFETResister

■電流電壓規格:

  特殊量測model及規格:

        Charge-pumping

        Charge-trapping

        Pulse IV

        Transient

Parameter

Range/Specification

Rise/Fall

2 ns to 0.2 s

Width

3.3 ns to 0.999 s

Base Voltage

-40 V to +40 V

Amplitude

-80 V to +80 V

Delay Time

0 s to 0.999 s

 

n         708A switching system

OUTPUTS:

        Configuration: 16 open collector drivers with factory-installed 10kΩ pull-up resistors.

        External connection provided for user supplied voltage 40V max.

        Maximum Sink Current: 600mA per channel. 2A max.

 

INPUTS:

        Configuration: 16 inputs with internal 10kΩ pull-up resistor.

        Maximum Voltage Level: 42V pk.

 

n         Thermal controller

        最高溫度:150

        水冷降溫。

 

 

收費標準

儀器使用每小時收費1,000元整,不足1小時以1小時計。

試片準備

待測元件 大小須在6吋以內

聯絡方式

指導教授:張鼎張 教授 中山大學物理系

TEL(07)52520003708

儀器負責人:林佳盛 同學

TEL(07)52520003708

儀器地點:物理館七樓D7009