AFM (真空控溫型掃描式探針顯微鏡)

 

n           型號:SEIKO E-sweep System 真空控溫型原子力顯微鏡

n           服務項目:(1)樣品奈米級表面形貌

(2)樣品表面摩擦力大小分佈圖

(3)量樣品表面磁性分佈圖

(4)測量樣品表面導電性質分佈圖

(5)測量樣品表面Phase分佈圖

(6)測量出樣品表面電位能分佈圖

(7)測量樣品表面穿遂電流分佈圖

(8)以上功能皆可在 -120 ~ 300 的溫度範圍量測及真空度可到1×10-6 Torr

 

   

n           收費辦法:

儀器名稱

收費標準(收取費用以小時計算

AFM

(真空控溫型掃描式探針顯微鏡)

n           校內:$2,500 NTD

n           校外:$5,000 NTD 

探針需自備 或付費使用(依探針種類)

校外一律委託操作,校內需經認後得可自行操作

特殊試片需經機台保管人之同意,避免污染腔體,校內認證資格需為光電所學生。

依照掃描的解析度、單一樣品的掃描取點次數及真空、變溫等因素,一件樣品掃描的時間可從10分鐘至數小時不等,如以件來計算,使用的時間不容易拿捏,因此以小時計算使用的時間,如單純掃描樣品表面形貌,每片約10分鐘可完成掃描(前置作業時間不會列入儀器使用的時間計算當中

無法進入機器的試片:高度揮發性之有機試片(常溫、高溫皆不可測量)、鍍金屬之樣品(僅只於常溫、低溫測量,高溫不可量測,需視金屬融點、蒸發特性決定),此為保護腔體不受污染。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

n           試片準備:限制特定半導體,須經指導教授核可

n           開放時間:週一至週五 早上9:00~12:00 下午1:30~6:00

n           儀器地點:F4016

n           聯絡方式:

指導教授光電所賴聰賢 教授

Tel (07)5252000 ext4458

E-mail tslay@mail.nsysu.edu.tw 

儀器聯絡人:

AFM -曾德恩 07-5252000 ext 4461