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  3. 奈米製程-收費標準

光學微影系統-收費標準

  1.  計畫預約：自行操作：150元/0.25小時，委託操作：350元/0.25小時

儀器訓練費：600元/堂，儀器認證費：600元/堂

  1.  非計畫預約：自行操作：350元/0.25小時，委託操作：550元/0.25小時

儀器訓練費：600元/堂，儀器認證費：600元/堂

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