場發射高解析電子微探儀(EPMA)可以針對金屬材料、電子材料、陶瓷材料、礦物進行微區域之成份定性及定量分析，其測定之精確度比一般EDS高許多，是微區域成份分析很好的工具。亦可進行大區域和高倍率之元素特性Ｘ光、二次電子、背向散射電子(BEI)等影像觀察。

儀器設備說明

• 型號：JEOL JXA-8530F Field Emission Electron Probe Microanalyzer
• 主要規格：加速電壓 1kV~30 kV，WDS可偵測範圍5B~92U

服務項目

• 定性、定量分析
• 二次電子(SEI)、背向散射電子(BEI)影像之觀察
• 元素Ｘ光影像(X-Ray Mapping)、線掃描(Line Scanning)

收費標準

1.  有計畫者每小時600元，無計畫者每小時1200元
2.  定量分析: 有計畫者每點20元，無計畫者每點100元
3.  線掃描(line scan)、區域掃描(mapping)分析、定性分析：有計畫者每次80元，無計畫者每次300元

試片準備

• 欲做定量分析、線掃瞄、元素Ｘ光影像(X-Ray Mapping)分析之試樣，其上下兩面需平整平行，並將分析面拋光
• 如為不導電試樣，需先蒸鍍一層導電覆膜〔一般為碳〕或經其他特別處理
• Hot Mount或Cold Mount其尺寸為直徑35 mm或25 mm、高20 mm
• 其餘試樣直徑小於20mm、高小於13mm。其它尺寸可直接來電詢問

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