歐傑電子能譜儀(AES)和X光光電子能譜儀(XPS)可用來分析材料表面組織形態及其化學結構，適用於薄膜、材料、電子、化學、化工、機械、電機等研究領域。

AES是利用一電子束為激發源，游離表面原子內層能階的電子使外層能階電子填補所產生的電洞，而釋出能量，進而傳輸給同原子的外層能階電子，造成接受能量電子的激發游離，而這游離的電子稱為毆傑電子，其具有特性的動能，而依據其動能判別其材料表面元素的種類。

XPS是利用光電效應，當材料表面被X-Ray(電磁波)照射時，原子內的電子吸收X-Ray能量後而游離出來，此電子稱光電子，其動能為入射電磁波的能量減去電子在原子中的束縛能，不同元素的光電子具有其特定的動能 , 因而可用來判定材料表面的元素成分。

儀器設備說明

• 型號：JEOL , JAMP-9500F Auger Electron Spectroscopy

• 主要規格：

 加速電壓 0.5~30KV，能量解析度 0.8%；

 XPS  X光源-雙陽極 Mg Kα / Al Kα；

 Max power – Mg   500W / Al 600W

服務項目

• Auger：全能譜圖、單元素能譜圖、元素影像掃描、縱深分布圖
• XPS：化學態/成分分析、縱深分布圖

收費標準

計畫收費標準為每小時350元(包含樣品處理時間，樣品抽真空時間及關機等待的時間)

非計畫收費標準為每小時3000元(包含樣品處理時間，樣品抽真空時間及關機等待的時間)

試片準備

• 樣品不得具有磁性、毒性、輻射性或對真空腔體零件造成蝕損
• 樣品以低非揮發性為限，避免對超高真空系統造成污染
• 代測服務之樣品請送兩件，以供測試發生困難時之需
• 樣品中若含有高揮發性分子或覆膜，請務必事先自行排氣抽淨
• 分析測試時，若發現送測樣品不符合規定，樣品將被退回,並依工作時數付費
• AES：面積0.9cm * 0.5cm之長方形，或直徑9mm之圓形，厚度0.2cm
• 試片最大尺寸：9mm(直徑)x 1mm(厚)
• XPS試片尺寸：9mm(長)x 8mm(寬)x 2mm(厚)

聯絡方式

指導教授：陳致光 教授  工學院材料所

TEL：(07)5252000 ext. 4060

技術人員：施淑媖 小姐

TEL：(07)5252000 ext. 4083；Mobile：0932-854-248；E-mail：amysy@mail.nsysu.edu.tw

儀器地點：理工實驗大樓B棟 3025室