光電子能譜儀（Photoelectron Spectroscopy）是一種表面化學分析技術，可以用來分析材料表面的電子結構與化學組成的重要方法。原理為藉由光電效應，當光照射至樣品內部時，原子的電子將被激發產生光電子，而只有靠近材料表面的光電子才能逃離被儀器測得。藉由分析此光電子，可得知表面元素組成種類。本機台配備兩個光源， x 光與紫外光。

儀器設備說明

• 型號：Prevac, XPS/UPS system
• 規格：

1.  電子能量分析儀（Energy Analyzer）

用以量測光電子之動能

電子能量分析儀的操作壓力可由超高真空升級擴充為 1 mbar

超高真空下具備量測 XPS/UPS/AES 功能:

能量分析儀半徑：≥ 150 mm

通過能量 （Pass Energy）：至少有1, 2, 5, 10, 20, 50, 100, 200 eV

動能量測範圍：0 - 2000 eV，接受超過 2000 eV

能量解析（Energy Resolution）: < 5 meV FWHM

偵測器種類：MCP-CCD

搭配單光儀 X 射線，在超高真空情況下，測量 Ag 3d，其半高寬（FWHM）能量解析 ≤ 0.47 eV

搭配真空紫外光源 (He I)，在超高真空情況下，測量 Ag，其費米能階 （Fermi Level） 能量解析 ≤ 170 meV

2.  單光儀 X 射線 （Monochromated X-ray）: 陽極種類為 Al-Kα (1486.6eV) 和 Ag-Lα(2984.3eV)
3.  真空紫外光源規格：使用 He I 測量 Ag，其費米能階能量解析 ≤ 170 meV

服務項目

• XPS表面成份定性及定量分析、化學位移(Chemical Shift)分析
• UPS價帶分析

樣品準備

• 樣品不得具有液體、粉末、毒性、磁性、輻射性或對真空腔體零件造成蝕損
• 樣品以低非揮發性為限，避免對超高真空系統造成污染，若含有高揮發性分子或覆膜,請務必事先自行排氣抽淨
• X-ray光斑:1mm * 4mm，故樣品面積需大於 5mm * 5mm之正方形，最大不超過20mm *20mm之正方形，厚度小於5mm
• 為防止測試發生困難，或是同一材料要做不清表面和清表面兩種狀態，代測服務之樣品建議準備兩件
• 如果樣品導電性不佳且不想用C訊號校正，建議在樣品表面上鍍一層很薄的金，或利用遮罩在樣品周圍鍍上一層很薄的金，方便做訊號校正
• 樣品表面需足夠平整才會有良好的訊號品質
• 委託量測須寄回樣品，請自行準備填寫回郵信封，並貼足郵票以便寄回
• 分析測試時，若發現送測樣品不符合規定，會將樣品退回，並依工作時數付費
• 是否需要加開電子槍取決於樣品與基板的導電性，樣品或是基板為絕緣體的話需要加開電子槍，否則量不到訊號

收費標準

1. Monochromated XPS：350元/hr (非計畫3500元/hr)
2. UPS：400元/hr (非計畫4000元/hr)
3. 加開電子槍：50元/hr (非計畫500元/hr)
4. Ar離子槍(表面清潔、深度分析)：100元/hr (非計畫1000元/hr)
5. ​​​​​XPS和UPS皆依時段計費，以實際服務時數計費 (包含樣品處理時間、樣品抽真空時間、關機等待及數據處理的時間，總共大約3小時)
6. 急件收費為基本使用費4500元/hr
7. 遲到時間仍視為服務時間計費
8. 電子槍以及Ar離子槍使用不滿1小時以1小時做計算

回件時間

依待測樣品數量及預約時間而定，約2週~1個月

量測需求表單

在國家科學及技術委員會網站上預約完成後，請務必填寫此表單，未填寫表單無法提供此服務

https://docs.google.com/forms/d/1onjE7pUKzfmXCbhxib92VVjqGyCoAgHB9noIiMch5j8/edit

聯絡方式

指導教授：盧怡穎 教授

TEL：(07)5252000 ext. 3751；Mobile：0905-806-637

技術人員：蔡承達 先生

Mobile：(07)5252000 ext. 3746；E-mail：andy032226@gmail.com

儀器地點：國際研究大樓地下一樓IR0001室

樣品寄送地址：80424 高雄市鼓山區蓮海路70號