儀器名稱

• 中文名稱：雙電子槍蒸鍍機
• 英文名稱：Dual E-Beam Evaporator

儀器設備說明

• 廠牌及型號：聚昌，Peva-600E

功能及用途

1.  薄膜沉積：可沉積各種不同金屬,合金與絕緣體皆可
2.  本實驗室提供Cu, Al, Ni, Ti鍍料及其坩堝；其餘鍍料及坩堝請自備 (本實驗室提供Mo坩堝，需要者可向儀器技數員購買)
3.  可通入氣體：N2、O2
4.  製程溫度最高可至350^oC
5.  可雙槍(dual-gun)共鍍：可鍍各種不同合金
6.  真空度(base pressure)：9E-6 Torr

設備規格及適用基板

•  non-uniformity：< 10%
•  可同時放 2”、 3”、 4”、 6” 基板六片及破片
•  可放坩堝數目：Dual-gun共12顆

服務須知

1.  本實驗室所屬雙電子槍蒸鍍機經考核均可開放非假日白天自行操作
2.  自行操作者須至網站上報名<<工安及儀器訓練>>與<<儀器檢定>>，通過後須繳交(a.使用者基本資料 b.實驗室使用者安全承諾切結書及健康告知)表格後，才可申請無塵室識別證及磁卡後，才可進無塵室自行操作儀器
3.  白天自行操作達15小時者，開放晚上與假日自行操作
4.  本系統服務以0.25小時為1單元
5.  委託操作統一開放在每月每周三09:00-17:00，請先跟儀器技術員確認時段，再上網去預約委託時間，若委託時段在非星期三，則費用會以急件(2倍)收費
6.  取消預約須於1天前取消，違者使用費照預約時間全額收費
7.  實際使用時數未達預約時數，而兩者間時數項差超過1小時，其餘時間以單價之50%計算
8.  若未預約就使用，將收取1.5倍的費用
9.  考核通過者若連續6個月無自行操作紀錄，則取消其自行操作資格。日後若需自行操作，需另行申請、訓練、考核，費用以半價收費

收費標準

1.  計畫預約：自行操作：250元/0.25小時，委託操作：420元/0.25小時

儀器訓練費：1100元/堂，儀器認證費：600元/堂

2.  非計畫預約：自行操作：450元/0.25小時，委託操作：500元/0.25小時

儀器訓練費：1100元/堂，儀器認證費：600元/堂

樣品注意事項

•  儀器本身基板部分可以加溫使用，嚴禁加溫過程放入含有揮發性物質，例如光阻，有特殊需求可與儀器技術員討論，真空膠帶請使用可以耐熱至250度的材質，違規者，以重新考核做為處分
•  製程中如發生問題請通知相關人員(例如製程氣體壓力不夠通知廠務人員，或儀器之類的問題通知技術員)
•  若自行操作者須使用自己的鍍料，則必須在預約前先將鍍料成分及鍍料特性告知儀器技術人員經儀器指導教授同意後，須將新鍍料以委託件的方式將新鍍料的參數建立於儀器上後，下一次才可以自行操作的方式預約
•  不確實填寫紀錄簿者，經儀器技術員發現且儀器有損壞故障情形，第一次停權二週處分，第二次重新考核，因人為因素操作不當導致的儀器損壞則需負責賠償維修費用
•  委託操作者，請先跟儀器技術員連絡確認委託時段再去網路預約委託時段

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