儀器名稱

• 中文名稱：快速退火系統
• 英文名稱：Rapid Thermal Annealing System

儀器設備說明

• 廠牌及型號：聚昌，FA04

功能及用途

1.  6”Wafer、石英
2.  可通入氣體：NH3、H2、N2、O2、Ar
3.  最高溫度：1000^oC (建議退火溫度小於800^oC，否則到達設定問度的時間會比較久及載盤會變型損壞)
4.  真空度(base pressure)：5E - 6 Torr

設備規格及適用基板

• 2”、 3”、 4”、 6” 基板及破片，用於作為載盤的6”Si晶圓請自行準備或可向儀器技術員購買

服務須知

1.  本實驗室所屬快速退火系統經考核均可開放非假日白天自行操作
2.  自行操作者須至網站上報名<<工安及儀器訓練>>與<<儀器檢定>>，通過後須繳交(a.使用者基本資料 b.實驗室使用者安全承諾切結書及健康告知)表格後，才可申請無塵室識別證及磁卡後，才可進無塵室自行操作儀器
3.  白天自行操作達15小時者，開放晚上與假日自行操作
4.  本系統服務以0.25小時為1單元
5.  委託操作統一開放在每月每周三09:00-17:00，請先跟儀器技術員確認時段，再上網去預約委託時間，若委託時段在非星期三，則費用會以急件(2倍)收費
6.  取消預約須於1天前取消，違者使用費照預約時間全額收費
7.  實際使用時數未達預約時數，而兩者間時數項差超過1小時，其餘時間以單價之50%計算
8.  若未預約就使用，將收取1.5倍的費用
9.  考核通過者若連續6個月無自行操作紀錄，則取消其自行操作資格。日後若需自行操作，需另行申請、訓練、考核，費用以半價收費

收費標準

1.  計畫預約：自行操作：110元/0.25小時，委託操作：250元/0.25小時

儀器訓練費：600元/堂，儀器認證費：600元/堂

2.  非計畫預約：自行操作：280元/0.25小時，委託操作：300元/0.25小時

儀器訓練費：600元/堂，儀器認證費：600元/堂

樣品注意事項

• 製程中如發生問題請通知相關人員(例如製程氣體壓力不夠通知廠務人員，或儀器之類的問題通知技術員)
• 氫氣及氨氣暫停開放一般使用者使用，欲使用氫氣及氨氣請委託儀器技術員操作
• 溫度低於600^oC時：持溫時間不可超過5 mins。溫度600^oC~800^oC：持溫時間不可超過3 mins，設定溫度不可超過試片熔點
• 不確實填寫紀錄簿者，經儀器技術員發現且儀器有損壞故障情形，第一次停權二週處分，第二次重新考核，因人為因素操作不當導致的儀器損壞則需負責賠償維修費用
• 委託操作者，請先跟儀器技術員連絡確認委託時段再去網路預約委託時段

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