儀器名稱

• 中文名稱：光學微影系統 (含光罩對準機 Mask Aligner、光阻旋轉塗佈機 spin-coater、烤盤 hot-plate)
• 英文名稱：MASK Aligner and Exposure System

儀器設備說明

• 廠牌及型號：科毅，AG350 - 6B

功能及用途

1.  single side ligner

 Deep UV(power = 500W)

2.  Resolution＜0.6 μm
3.  解析度＜0.4 μm之實測報告
4.  Camera CCD
5.  Maskholder ”x5” and 4”x4”
6.  Chuckfragments up to 2” x 2” and 4” x 4”
7.  自動操作程序儲存及控制系統(＞50組程序)
8.  最小破片處理能 ≦ 5x 5m m(非僅限於中心點)
9.  光學顯微鏡最大倍率 ≧ 500倍，最小倍率 ≦ 50倍
10.  平均移動解析度 ≦ 0.1μm

設備規格及適用基板

• 可放置3”x3”、 4”x 4”或5”x 5”的光罩
• 樣品放置載台有2”x 2”與4”x 4”兩種尺寸

服務須知

1.  本實驗室所屬光學微影系統經考核均可開放非假日白天自行操作
2.  自行操作者須至網站上報名<<工安及儀器訓練>>與<<儀器檢定>>，通過後須繳交(a.使用者基本資料 b.實驗室使用者安全承諾切結書及健康告知)表格後，才可申請無塵室識別證及磁卡後，才可進無塵室自行操作儀器
3.  白天自行操作達15小時者，開放晚上與假日自行操作
4.  本系統服務以0.25小時為1單元
5.  委託操作統一開放在每月每周三09:00-17:00，請先跟儀器技術員確認時段，再上網去預約委託時間，若委託時段在非星期三，則費用會以急件(2倍)收費
6.  取消預約須於1天前取消，違者使用費照預約時間全額收費
7.  實際使用時數未達預約時數，而兩者間時數項差超過1小時，其餘時間以單價之50%計算
8.  若未預約就使用，將收取1.5倍的費用
9.  考核通過者若連續6個月無自行操作紀錄，則取消其自行操作資格。日後若需自行操作，需另行申請、訓練、考核，費用以半價收費

收費標準

1.  計畫預約：自行操作：150元/0.25小時，委託操作：350元/0.25小時

儀器訓練費：600元/堂，儀器認證費：600元/堂

2.  非計畫預約：自行操作：350元/0.25小時，委託操作：550元/0.25小時

儀器訓練費：600元/堂，儀器認證費：600元/堂

樣品注意事項

• 製程中如發生問題請通知相關人員(例如氣管漏氣請通知廠務人員，或儀器之類的問題通知技術員)
• 為維護曝光機汞燈壽命，曝光機使用後也須上網確認下位使用者的預約時間，若是三小時以內，則無需熄滅汞燈，若三小時之外，則可以關掉
• 曝光機上的放大鏡與光學顯微鏡使用完後，請將燈源強度調至最小後再關總開關，以免降低燈絲壽命
• 請勿任意更改旋轉塗佈機之參數
• 請勿任意更改烤盤之溫度
• 不確實填寫紀錄簿者，經儀器技術員發現且儀器有損壞故障情形，第一次停權二週處分，第二次重新考核，因人為因素操作不當導致的儀器損壞則需負責賠償維修費用
• 委託操作者，請先跟儀器技術員連絡確認委託時段再去網路預約委託時段

聯絡方式