儀器名稱

• 中文名稱：薄膜特性分析儀
• 英文名稱：N & K analyzer

儀器設備說明

• 廠牌及型號：n&k Technology, Inc., n&k Analyzer 1280

功能及用途

1.  反射光譜與透射光譜量測

• DUV-Visible-NIR, 190 nm - 1000 nm, 1 nm Intervals

2.  量測薄膜特性：

• Thickness，d
• Index of Refraction，n
• Extinction Coefficient，k
• Energy Bandgap，Eg
• Interface Roughness，σ

3.  可量測極薄的薄膜厚度
4.  可量測單層或多層薄膜厚度

設備規格及適用基板

• 波長範圍：190nm~1000nm
• 適用基板：不透光與透光基板皆可
• 基板大小：2”、3”、4”、6”大小或破片
• 可量測的薄膜材料：

-semiconductor
-dielectric
-transparent conductors
-photoresist (最厚可高到達120μm)
-polymer
-color filter
-very thin metal film (500Å以下)

服務須知

1.  本實驗室所屬薄膜特性分析儀經考核均可開放非假日白天自行操作
2.  自行操作者須至網站上報名<<工安及儀器訓練>>與<<儀器檢定>>，通過後須繳交(a.使用者基本資料 b.實驗室使用者安全承諾切結書及健康告知)表格後，才可申請無塵室識別證及磁卡後，才可進無塵室自行操作儀器
3.  白天自行操作達15小時者，開放晚上與假日自行操作
4.  本系統服務以0.25小時為1單元
5.  委託操作統一開放在每月每周三09:00-17:00，請先跟儀器技術員確認時段，再上網去預約委託時間，若委託時段在非星期三，則費用會以急件(2倍)收費
6.  取消預約須於1天前取消，違者使用費照預約時間全額收費
7.  實際使用時數未達預約時數，而兩者間時數項差超過1小時，其餘時間以單價之50%計算
8.  若未預約就使用，將收取1.5倍的費用
9.  考核通過者若連續6個月無自行操作紀錄，則取消其自行操作資格。日後若需自行操作，需另行申請、訓練、考核，費用以半價收費

收費標準

1.  計畫預約：自行操作：200元/15min，委託操作：300元/15min

儀器訓練費：600元/堂，儀器認證費：600元/堂

2.  非計畫預約：自行操作：400元/15min，委託操作：450元/15min

儀器訓練費：600元/堂，儀器認證費：600元/堂

樣品注意事項

1.  製程中如發生問題請通知相關人員(例如樣品校正問題請通知儀器技術員)
2.  為維護燈源壽命，儀器使用完畢後也須上網確認下位使用者的預約時間，若是三小時以內，則無需熄滅燈源，若三小時之外，則可以關掉
3.  使用前若前1個時段無人預約，請務必提早1小時讓機台與燈泡warm Up，再登入windows系統，執行N&K量測
4.  開機和關機至少需間隔30mins以上，以保護燈泡壽命
5.  不確實填寫紀錄簿者，經儀器技術員發現且儀器有損壞故障情形，第一次停權二週處分，第二次重新考核，因人為因素操作不當導致的儀器損壞則需負責賠償維修費用
6.  委託操作者，請先跟儀器技術員連絡確認委託時段再去網路預約委託時段

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