1.  儀器使用費：1小時NT$600元/每時段3小時，超過以1小時計費一次

(1) 高解析成像分析  (2) NBD/CBD Analysis  (3) STEM Analysis（HAADF） (4) EDS分析（點，線，面分析）：前四項NT$100元/小時

(5) 電子能量損失能譜EELS/GIF分析：NT$200元/小時

2.  計畫收費：

委託服務600元/小時，細項同上計費

自行操作300元/小時，細項0.5倍計費

3.  非計畫收費：委託服務2000元/小時。細項3倍計費