儀器開放服務公告:

儀器名稱：貴儀中心奈米製程組Sputter、CVD儀器。

重新開放時間：Sputter及CVD儀器檢修完成，自115年2月26日起恢復正常開放服務。

若有任何問題請聯絡技術員陳書香小姐，連絡電話：07-5252000轉3703