貴儀中心奈米製程組6台儀器，因實驗室空調異常，於115年4月16日~4月20日只有Mask Aligner儀器正常對外開放服務

儀器開放服務公告:

儀器名稱：貴儀中心奈米製程組Sputter、E-Beam、CVD、ICP、N&K儀器。

暫停開放時間：無塵室空調故障檢修測試中，於115年4月16日~4月20日暫停開放服務。

若有任何問題請聯絡技術員陳書香小姐，連絡電話：07-5252000轉3703

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