儀器暫停服務公告：

儀器名稱：奈米製程組4台儀器Sputter、E-Beam、N&K、Mask Aligner

暫停開放時間： 115年7月3日 13:00PM至 7月6日11:00AM

若有任何問題請聯絡技術員陳書香小姐，連絡電話：07-5252000轉3703